移設後の装置立ち上げ整備実施

お客様からのご依頼内容
・装置移設後の立ち上げ前整備

対象装置：真空装置　RFS-200

整備内容
・油回転ポンプのオイル交換
・拡散ポンプの分解整備
・バルブの分解整備
・アノード、カソードの分解整備
・シンフレックスホースの交換
・チャンバー内の清掃
・真空確認、放電確認

油回転ポンプG-100D

拡散ポンプF-250

清掃前

清掃後

三方弁分解整備

ダイヤフラムバルブ分解整備